一、用途
二、技術規格
項 目 內 容 放大倍率 15X～30,000X(數字放大：2X、4X) 觀察模式 標準模式、減輕荷電模式、大束流分析模式 圖像模式 形貌像、成份像、陰影像1、陰影像2、凹凸像 電子光學系統 電子槍 預對中發夾型鎢燈絲 加速電壓 5kV、15kV 、EDX 透鏡系統 3級電磁式透鏡會聚系統 電位移 ±50μm (WD=4.5mm、觀察條件：標準模式) 能譜分析位置 WD=10mm, TOA=35° 樣品臺 樣品臺控制 2軸手動樣品臺 樣品可移動范圍 X：±17.5mm、Y：±17.5mm *大樣品尺寸 直徑70mm *大樣品厚度 50mm 檢測器 高靈敏4分割半導體背散射電子檢測器 真空系統 自動控制系統 全自動氣動閥控制系統 *高真空度 1.5×10-5Pa 可變真空度 6~270Pa(22steps) 渦輪分子泵 30L/s 1臺 隔膜泵 1m3/h 1臺 真空計 1臺 自動功能 自動燈絲飽和 已配備 自動電子束設定 已配備 自動電子槍對中 已配備 自動合軸 已配備 自動聚焦、消像散 已配備 自動亮度、對比度 已配備 自動保護功能 帶有過電流保護功能、漏電遮斷器 計算機控制系統 操作系統 Microsoft Windows® 7 CPU Intel® CoreTM2 Duo P8700(或與其兼容的PC) 內存容量 2GB以上 接口與端子 USB2.0接口(2個)、網路接口(以太網) 觀察 15.4英寸LCD；屏幕分辨率1280×800像素 控制 鼠標、鍵盤 掃描速度 TV掃描 640×480象素顯示，25幀/秒 快速掃描 全屏顯示，6.3幀/秒 慢速掃描 全屏顯示，1/4/20/40/80秒/幀 640×480像素顯示，0.5/2/10/20/40秒/幀
圖像數據存儲 圖像存儲像素 640 × 480、1,280 × 960像素 圖像數據保存 PC帶硬盤及其他記錄媒體 圖像存儲格式 BMP、TIFF、JPEG 圖像信息 微標尺、微值、放大倍率、日期、時間、圖像編號、注釋、觀察條件、觀察模式、圖像模式、工作距離 輔助功能 圖像旋轉、簡單測量、三維動畫維護指南 使用環境 室溫 15°C ～30°C 相對濕度 40%～70% 電源 單相AC100～240V(*低90V、*高250V) 50/60Hz、3P插座 地線 D類接地，電阻小于100Ω 體積與重量 主機 330(長)×606(寬)×565(高)mm、63.0Kg(manual stage)
330(長)×630(寬)×565(高)mm、66.0Kg(motor drive stage)隔膜泵 145(長)×256(寬)×217(高)mm、4.5Kg
